晶盛机电获得发明专利授权:“抛光垫粘贴用载体及粘贴方法”

小微 2024年11月30日 阅读:50552

晶盛机电获得发明专利授权:“抛光垫粘贴用载体及粘贴方法”
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶盛机电(300316)新获得一项发明专利授权,专利名为“抛光垫粘贴用载体及粘贴方法”,专利申请号为CN202411149352.3,授权日为2024年11月29日。

专利摘要:本发明提供了一种抛光垫粘贴用载体及粘贴方法,属于晶片抛光技术领域,解决了现有技术抛光垫粘接时容易产生气泡凸起的问题。本发明包括支撑座;固定组件,固定组件包括固定件,固定件用于连接抛光垫的边缘部,固定件设置于支撑座上,且固定件具有移动自由度以移动拉伸抛光垫;以及流体供给组件,流体供给组件包括:储液件,储液件设置于支撑座内,储液件用于储液;喷管设置于支撑座内且与储液件通过阀门连接;喷孔设置于支撑座上且与喷管连通,用于供液体喷出至抛光垫。本发明利用支撑座上的流体供给组件向抛光垫喷射液体,抛光垫受液体冲击而紧贴于抛光盘上,从而防止抛光垫与抛光盘之间产生间隙,即降低了二者之间的气泡凸起生成率。

晶盛机电获得发明专利授权:“抛光垫粘贴用载体及粘贴方法”
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今年以来晶盛机电新获得专利授权122个,较去年同期减少了24.69%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了6.11亿元,同比增1.92%。

数据来源:天眼查APP

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