艾森股份获得实用新型专利授权：“用于单晶圆水平电镀阴极工装夹具”

小微 2026年05月19日阅读:42477

艾森股份获得实用新型专利授权：“用于单晶圆水平电镀阴极工装夹具”
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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示艾森股份（688720）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“用于单晶圆水平电镀阴极工装夹具”，专利申请号为CN202521327862.5，授权日为2026年5月19日。

专利摘要：本实用新型公开了一种用于单晶圆水平电镀阴极工装夹具，包括：底盘，包括主体部和与主体部连接的安装部；按压环，包括按压部和与按压部连接的组装部，所述按压部用于压合主体部，所述组装部用于与安装部连接；导电环，包括环体部和设于环体部内周侧壁上的导电齿，所述环体部位于主体部与按压部之间，所述导电齿位于主体部上用于支撑晶圆。本实用新型的夹具解决了现有单片水平电镀设备阴极工装夹具存在的操作效率低、晶圆定位精度差以及边缘过镀等问题，提高了晶圆电镀的生产效率和良率。

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今年以来艾森股份新获得专利授权3个，较去年同期减少了40%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了6942.21万元，同比增51.24%。

通过天眼查大数据分析，江苏艾森半导体材料股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目27次；财产线索方面有商标信息7条，专利信息118条；此外企业还拥有行政许可22个。

数据来源：天眼查APP

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